IGBT全稱為絕緣雙極性晶體管,所以它是一個有MOSGate的BJT晶管體。一說起IGBT,半導體制造的人都以為不就是一個分立器件(Power Disceret)嘛,都很瞧不上眼。然而他和28nm/16nm集成電路制造一樣,是國家「02專項」的重點扶持項目,這玩意是現在目前功率電子器件里技術最先進的產品,已經全面取代了傳統的Power MOSFET,其應用非常廣泛,小到家電、大到飛機、艦船、交通、電網等戰(zhàn)略性產業(yè),被稱為電力電子行業(yè)里的「CPU」。
IGBT不用機械按鈕,它是由計算機控制的。具體點說,IGBT的簡化模型有3個接口,有兩個(集電極、發(fā)射極)接在強電電路上,還有一個接收控制電信號,叫作門極。給門極一個高電平信號,開關(集電極與發(fā)射極之間)就通了;再給低電平信號,開關就斷了。給門極的信號是數字信號(即只有高和低兩種狀態(tài)),電壓很低,屬于弱電,只要經過一個比較簡單的驅動電路就可以和計算機相連。實際用的“計算機”通常是叫作DSP的微處理器,擅長處理數字信號,比較小巧。
現在IGBT技術發(fā)展到什么水平了
IGBT (絕緣柵雙極型晶體管)發(fā)明于 80 年代初,多家公司幾乎同時并獨立地發(fā)明了這種器件,剛開始各公司對其稱謂也不同。
至今,IGBT經歷了五代技術的發(fā)展演變,面對的是大量的結構設計調整和工藝上的難題?;仡橧GBT的發(fā)展歷程,其主要從三方面發(fā)展演變:器件縱向結構,柵極結構以及硅片的加工工藝。
多年以來,IGBT技術改進的追求的目標是:
1,減小通態(tài)壓降。達到增加電流密度、降低通態(tài)功率損耗的目的。
2,降低開關時間,特別是關斷時間。達到提高應用時使用頻率、降低開關損耗的目的。
3,組成IGBT的大量“原胞”在工作時是并聯運行,要求每個原胞在工作溫度允許范圍內溫度變化時保持壓降一致,達到均流目的。否則會造成IGBT器件因個別原胞過流損壞而損壞。
4,提高斷態(tài)耐壓水平,以滿足應用需要。
具體到每一代的產品發(fā)展上。
第五代IGBT
第一代、第二代早期產品曾采用過“輻照”手段,但卻有增加通態(tài)壓降(會增加通態(tài)功耗)的反作用危險。第一代與第二代由于體內晶體結構本身原因造成“負溫度系數”,造成各IGBT原胞通態(tài)壓降不一致,不利于并聯運行,因此當時的IGBT電流做不大。此問題在第四代產品中采用了“透明集電區(qū)技術”,產生正溫度系數效果后基本解決了。
第二代產品采用“電場中止技術”,增加一個“緩沖層”,這樣可以用較薄的晶片實現相同的耐壓(擊穿電壓)。因為晶片越薄,,飽和壓降越小,導通功耗越低。此技術往往在耐壓較高的IGBT上運用效果明顯。耐壓較低的如幾百伏的IGBT產品,晶片本來就薄,再減薄到如100到150微米的話,加工過程極容易損壞晶片。
第三代產品是把前兩代平面絕緣柵設計改為溝槽柵結構,即在晶片表面柵極位置垂直刻槽深入晶片制成絕緣柵。柵極面積加大但占用晶片位置減小,增加了柵極密度。工作時增強了電流導通能力,降低了導通壓降。
第四代非穿通型IGBT(NPT)產品不再采用“外延”技術,代之以“硼離子注入”方法生成集電極,這就是所謂的“透明集電區(qū)技術”。
第五代產品是在IGBT經歷了上述四次技術改進實踐后對各種技術措施的重新組合。第五代IGBT是第四代產品“透明集電區(qū)技術”與“電場中止技術”的組合。
上述幾項改進技術已經在各國產品中普遍采用,只是側重面有所不同。除此以外,有報道介紹了一些其它技術措施如:內透明集電極、砷摻雜緩沖層、基板薄膜化、軟穿通技術等。
國內首家應用第五代IGBT的APF制造公司
山東恒電電氣股份有限公司投入大量的科研力量研究發(fā)現,第五代IGBT可以降低三分之一的損耗,提高開關頻率。目前是國內APF研發(fā)生產公司中唯一一家已經開始使用第五代IGBT的研發(fā)企業(yè),產品質量在國內瑤瑤領先。